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高純石墨燒結(jié)盤具有許多明顯優(yōu)勢,在多個工業(yè)范疇發(fā)揮著重要作用,以下從特性、使用場景、制備工藝及外表處理等方面打開介紹:
特性
高純度與高安穩(wěn)性:碳含量超過99.99%,在2000℃以上仍能保持結(jié)構(gòu)安穩(wěn),熱膨脹系數(shù)低至4.3×10??/K,保證高溫環(huán)境下尺寸精度。
卓越導(dǎo)熱與導(dǎo)電性:導(dǎo)熱系數(shù)高達120-195W/(m·K),導(dǎo)電性比非金屬礦高百倍,適用于需求高效熱傳導(dǎo)或電學(xué)功能的場景。
耐腐蝕與抗氧化:常溫下耐酸堿腐蝕,高溫抗氧化功能經(jīng)過外表涂層(如碳化硅)可進一步提高,延長使用壽命。
自潤滑與低摩擦:層狀結(jié)構(gòu)賦予其自潤滑特性,摩擦系數(shù)低至0.05-0.1,削減磨損并降低能耗。
高精度加工性:可加工至平面度<0.1μm,滿意12英寸晶圓加工需求,適用于半導(dǎo)體等精密制作范疇。
使用場景
半導(dǎo)體制作:作為晶圓加工基板,支撐3nm芯片制作,經(jīng)過梯度燒結(jié)技能優(yōu)化層間應(yīng)力,提高彎曲強度至450MPa。
高溫?zé)Y(jié)與熱處理:用于金屬熔融澆鑄、陶瓷燒結(jié)等工藝,承受高溫?zé)o變形,保證產(chǎn)品一致性。
航空航天:使用于航空發(fā)動機葉片制作,在1600℃環(huán)境下壽命延長400小時,滿意極點工況需求。
新能源范疇:適用于電池資料燒結(jié),其高純度與化學(xué)安穩(wěn)性可防止雜質(zhì)引進,提高電池功能。
制備工藝
原料選擇與提純:選用天然石墨或人造石墨,經(jīng)過浮選、堿酸法、氫氟酸法等工藝將碳含量提純至99.99%以上。
高溫?zé)Y(jié):在2000℃以上真空或慵懶氣氛中燒結(jié),構(gòu)成高度有序的晶須結(jié)構(gòu),增強機械強度與熱安穩(wěn)性。
脫碳處理:在高溫?zé)o氧環(huán)境中去除殘留雜質(zhì),進一步提高純度與化學(xué)安穩(wěn)性。
外表處理
碳化硅涂層:構(gòu)成致密、耐磨損、高耐腐蝕的涂層,延長使用壽命并實現(xiàn)高純度外表結(jié)構(gòu)。
鍍層與化學(xué)處理:增加耐磨性、防腐性,提高在高溫高壓環(huán)境下的安穩(wěn)性。
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